按氧浓度测定原理不同主要分以下三类：

1. 电化学氧分析仪

电化学氧分析仪也叫氧电极测氧仪。由电化学氧传感器、气路单元和电子显示单元组成。氧电极传感器以铂为阴极（工作电极），铅或银为阳极（反电极），聚四氟乙烯薄膜（PTFE）将阴与一定浓度的电解质溶液隔开。氧在阴极被还原，电子通过电解液到达阳极，阳极的铅被氧化，电流大小与氧浓度成正比。

2. 氧化锆测氧仪

氧化锆测氧仪采用的是固体电解质氧传感器。仪器中的核心部件氧化锆管是以氧化锆掺以一定比例的氧化钇或氧化钙，经高温烧结而形成稳定的氧化锆陶瓷烧结体。由于氧化钇或氧化钙分子的存在，其立方晶格中存在氧离子空穴，在高温下是良好的氧离子导体，当氧化锆管两侧气体中氧含量不同时，两侧电极上由于正负电荷的堆积而形成一定的电势。

3. 顺磁式测氧仪

氧气分子具有强顺磁性，它会向磁场的增强方向移动，如果存在两种不同氧含量的气体，它们在同一磁场相遇时就会产生压力差。当其中一种气体的氧含量为已知时，检测该压力差可得出另一种气体的氧含量。以磁机械式氧分析仪为例，其机械原理是用一根灵敏度很高的张丝悬吊着哑铃球，它会在该压力差的作用下发生偏转。在偏转角度较小的情况下氧气的浓度与偏转角度成正比，由光源、反射镜和感光元件组成的单元能准确检测出该偏转角度，从而确定气体中的氧含量。