Ra：0.1~1000µm（全程范围） 测量范围：1mm (±500µm) 传感器分辨率：16nm/1mm, 3nm/0.2mm, 0.6 nm/0.04mm 驱动箱水平方向行程：120mm、数据分辨率：0.25µm 导轨直线性: 0.5μm/120mm; 0.25μm /60 mm;0.2μm /20mm 符合ISO粗糙度系列标准。^[1]

表面粗糙度参数及轮廓测量。^[1]