1. 发射源：肖特基（Schottky）热场发射电子枪 2. 分辨率: 20KV时1.3nm；15KV时1.5nm；1KV时2.8nm 3. 加速电压：0.1V-30KV 4. 放大倍数：12倍～1,000,000倍 5. 探针电流：4pA-20nA；束流稳定性优于0.2%h 6. 样品台移动范围：X-125mm;Y-125mm;Z-50mm 7. 配EBSD和EDS探头。^[1]

扫描电镜主要是利用二次电子、in-lens、ABS探头对材料微区进行观察与分析（几何形貌、分布及尺寸）。能谱仪主要是配合电镜在材料微区表面做点、线和面的元素分布分析。电子背散射衍射仪可以用来表征材料的取向分布度（OIM）、取向衬度图（OCI）、相鉴定（PI）、面扫描（Mapping）、晶粒形貌分析、晶粒结构分析（极图、反极图和ODF图）、晶界特征分析、应变分析等。^[1]