光学轮廓仪-行业百科- 全球装备网

光学轮廓仪技术指标

1单次测量市场：可达16.8*16.8mm2工作距离：40mm3纵向扫描范围：150um，可扩展到20mm。^[1]

光学轮廓仪主要功能

1微纳结构的静态三维形貌表征2器件轮廓动态变化的测量。^[1]

参考资料

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