三维光学显微镜

布鲁克作为三维表面测量与观察，提供从微观如MEMS（微机电系统）到宏观如发动机腔体等不同大小样品的快说非接触式分析。如今的三维显微镜已历十代，在原有Wyko®专有技术基础上，不断积累，来面对各种应用环境时三维测量所需的高灵敏度和稳定性；而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。

布鲁克三维光学显微系统在一直以服务和支持著称，在性上一贯良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间，数以几千计的系统被使用。作为为质量控制和研发设计的测量仪器，可用于加工制造类应用的监控，在汽车、航空航天、高亮度LED、太阳能、半导体和科研领域，布鲁克总有一款适合您应用和与预算的三维光学显微测量系统。

ContourX-500 3D光学轮廓仪

用于3D计量的全自动台式

ContourX-500光学轮廓仪是用于快速，非接触式3D表面度量的的自动化台式系统。该系统集成了布鲁克倾斜/倾斜光学头，可以编程，以在一定角度范围内测量表面特征，同时程度地减少跟踪误差。具有测量功能的ContourX-500具有的Z轴分辨率和精度，并在更小的占地面积下提供了布鲁克白光干涉仪（WLI）落地式机型的所有。利用的用户界面，ContourX-500可以直观地访问的预编程过滤器和分析库。借助其新的USI通用扫描模式，可以轻松地针对的复杂应用定制分析器，从加工表面和半导体工艺的QA / QC计量学到眼科和MEMS器件的R＆D表征。

ContourX-500 3D光学轮廓仪

轮廓GT-K

的自动化

布鲁克有的头部倾斜/倾斜为生产设置和检查提供了的用户灵活性。通过将自动倾斜/倾斜功能与显微镜头中的光路相结合，布鲁克将检测点与视线相结合，而与倾斜无关。这样可以减少操作员的干预，提供的可重复性。此功能与自动登台和物镜相结合，使ContourX-500非常适合“按需测量"的工业需求，而且占地面积小。

轮廓X-500

传统的俯仰和滚动舞台设计需要操作员进行调整

五个运动轴以保持在线的检查点

视线进行测量。头部的布鲁克提示/倾斜

设计在检查点上保持了视线-

不论倾斜度-都能优化图像采集和

的数据记录时间。

轮廓X-500

WLI为所有目标提供恒定且的垂直分辨率。

的价值和分析

ContourX-500具有成千上万的自定义分析功能以及布鲁克简单易用但功能强大的VisionXpress™和Vision64®用户界面，为实验室和工厂车间的生产率进行了优化。这种的硬件和软件组合提供了对高可重复性和高通量计量学测量的简化访问，从而超过了同类计量能力。