钨灯丝扫描电镜 VEGA
VEGA3 GM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
· 概述
分析潜力
· GM样品室配备有5轴马达驱动样品台
· 多于20个接口,优化的几何设计更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)
· YAG闪烁器式探头
· 可选各种探头和配件
· 涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态
· 在可变真空模式下可观测不导电的样品(XMU型号)
· 可选样品室减振方式
· 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能
VEGA3配置
GM型号适合观测大样品。
VEGA3 GMH
超大样品室,高真空模式,适用于观测大型导电材料。
VEGA3 GMU
可变真空式扫描电镜,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品,不需要喷金。
配件
二次电子探头(SE),ET型二次电子探头(YAG 闪烁体)
可移动式背散射电子探头(RBSE),可移动环行闪烁体类(YAG)具有高灵敏度和原子序数分辨率()
低真空二次电子探头
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
冷台
等,各种配件可供选择
标配:
· 测量
· 图象处理
· 3维扫描
· 硬度测量
· 多图像校准
· 对象区域
· 自动关机时间
· 公差
· 编程软件
· 定位
· 投影面积
· EasySEMTM
根据实际配置和需求
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