超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有 含氯二噁英等物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程 [1] 。

超纯水是为了研制超纯材料（半导体原件材料、精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，其电阻率大于18 MΩ*cm，或接近 MΩ*cm值（25℃）。简单得说就是几乎氧和氢以外所有原子的水 [2] 。这样的水是一般工艺很难达到的程度，理论上可以采用二反再经过串联的混合型交换树脂柱对二次反渗水进行处理，但是交换树脂的不便，质量难以保证。

制备

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在原子光谱、液相色谱、超纯物质分析、痕量物质等的某些实验中，需要用超纯水，超纯水的制备如下 [3] ：

（1）加入少量的水源，用玻璃蒸馏装置进行二次蒸馏，再以全石英蒸馏器进行蒸馏，收集于石英容器中，可得超纯水。