FISCHERSCOPE X-RAY XDL230菲希尔X射线测厚仪核心技术与性能
测量原理:运用 X 射线荧光光谱法,实现对镀层厚度的精准测量,采用无损检测方式,具备自动聚焦功能,可保障样品完整性与测量准确性。
元素测量范围:涵盖 Cl(17)-U(92),最多可同时测量 24 种元素、23 层镀层。
硬件性能:
动 X/Y 平台:移动范围≥95x150mm,可用工作台面≥420x450mm,能满足多样品放置与测量需求。
电动 Z 轴:支持手动 / 自动聚焦,移动范围≥140mm,可适配不同高度样品。
DCM 技术:采用测量距离补偿法(DCM),可实现 80mm 深度的腔体样品远距离对焦测量。
高压调节:可变高压支持 30KV、40KV、50KV 三档调节,可灵活应对不同测试场景。
准直器:配备 φ0.3 的圆形准直器,可提升测量精度,还有 φ0.1mm、φ0.2mm 及长方形 0.3mmx0.05mm 等可选准直器。
X 射线探测器:采用比例接收器,确保信号稳定接收。
摄像头:高分辨率 CCD 摄像头,放大倍数 40 - 160 倍,便于样品观察定位,沿初级 X 射线光束方向观察测量位置,有手动聚焦、十字线(带有经过校准的刻度和测量点尺寸)、可调节亮度的 LED 照明,激光光点用于准确定位样品。
软件与数据处理
操作系统与软件:基于 Windows 7 以上中文操作界面,搭载 WinFTM 专业测试软件,配备连接 PC 和打印机的 USB 接口。
统计计算功能:数据组集成时间和日期功能,具备平均值、标准偏差、最大值、最小值等统计计算;支持公差范围输入,可计算 CP 和 Cpk 值,超范围自动报警提示。
校准与判定:采用基本参数法,内置 12 纯元素频谱库,实现无标准片校准测量;具备 MQ 值显示,用于判断测量程式与样品匹配度,防止误操作。
标准片:配备 12 种基准纯元素(Ag, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr)标准片。
仪器参数
电源要求:200V,50Hz,功率最大 120W(不包括计算机)。
保护等级:IP40。
外部尺寸:宽 x 深 x 高(mm)为 570x760x650。
内部测量室尺寸:宽 x 深 x 高(mm)为 460x495x140。
重量:107KG。
使用温度:10℃-40℃。
存储或运输温度:0℃-50℃。
空气相对湿度:≤95% 无结露。
应用领域
工业生产:测量大规模生产的电镀部件,适用于汽车、航空航天、电子等行业的零部件镀层检测,如汽车发动机零部件、航空航天金属结构件、电子设备外壳等的镀层厚度测量和质量控制。
电子行业:测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层,如芯片引脚、印刷线路板上的铜箔镀层、金手指镀层等,确保电子产品的电气性能和可靠性。
装饰行业:测量超薄镀层,例如装饰铬,用于家具、卫浴五金、饰品等装饰性产品的镀层厚度检测,保证产品的美观和耐用性。
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