乙硅烷在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。d4－250.686，熔点－132．5℃，沸点－14．5℃，它具有与硅烷类似的化学性质，比硅烷不稳定，反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢，在光照下也可分解。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定，应更加小心。