UV 解胶机
软件控制UV照射機UPA型，以PLC控制單片晶圓的UV膠膜照射過程，並隨時顯示實際執行的各項參數。
直徑達220㎜的照射窗口，可處理8"至12"的標準規格晶圓。光源可更换更大面积的照射器。
特點：
桌上型設計－安裝簡單。
多功能控制面板－操作方便、穩定度高、維修容易，並可完成遠端控制的需求，依需求修改控制模式，更改操作螢幕之字型等。
全程監視系統－UVLED紫外灯
1.采用UV冷光源，代替了传统的高压汞灯，经过试验认证，使用寿命比普通汞灯寿命长数十倍以上，安全性高，热量小，功耗低
2.一键式全自动根据设定完成所有操作，在达到照射时间后会自动关闭，不需要启动和等待时间。
3.采用触摸屏作为人机界面，集成操作和错误，报警显示
4.使用于3inch～12inch的wafer，Frame可以定制
功能特点：适用于半导体晶圆切割后的UV解胶工序
序号 | 配件 | 项目 | 单位 | 技术要求 |
1 |
控制系统 （UVSF81T）
| 电压 | 220V | |
2 | 控制方式 | 屏幕触控/脚踏/RS232/PLC | ||
3 | 照射功率可调范围 | 10%-可调 | ||
4 | 照射模式 | 手动:启动后常亮 | ||
5 | 自动:设定照射时间(0.1-999.9s) | |||
6 | 阶梯:实现阶梯照射(1-20步数) | |||
7 | 循环阶梯:单次/ | |||
8 | 通信控制 | RS232串口:实现数据读写，LED开关及参数控制 | ||
9 | IO接口:LED开关控制及运行状态输出 | |||
10 |
照射头 （SFHD-250250） | 散热方式 | 风冷 | |
11 | 波长范围 | 365±5nm | ||
12 | 外形结构尺寸 | mm | 280X280X92 | |
13 | 发光尺寸 | mm | 250X250 | |
14 | 建议距离范围 | mm | 15-20 | |
15 | 峰值照射强度(MAX) | mW | 400 | |
16 | 电功率 | W | 1000 | |
17 | 烘箱 （UVOV） | 外形尺寸 | mm | 580X550X225 |
18 | 产品放置尺寸 | mm | 356X400 | |
19 | 电源线 | 电缆 | m | 2 |
20 | 连接线 | 拖链电缆 | m | 2 |
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