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上海欧锐铂仪器科技有限公司

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上海欧锐铂仪器科技有限公司
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气体质量流量控制器供应商

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  • 产品型号:
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  • 产品类别:其他
  • 所在地:上海市
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  • 更新时间:2025-06-05 05:48:56
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产品简介

气体质量流量控制器WGLD-380(数字)是热式质量流量计。气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下简称MFC)可对气体的质量流量进行精密测量和控制。

详情介绍

气体质量流量控制器WGLD-380(数字)是热式质量流量计。气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下简称MFC)可对气体的质量流量进行精密测量和控制。本产品主要应用的行业有材料科学、环境科学、光伏半导体及化工等领域。


产品特点(优势):

本具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使用,也可通过模拟/数字信号转换器(AD/DA转换器)配合计算机使用。


产品参数:

产品名称

气体质量流量控制器WGLD-380(数字)

基本型号

WGLD-380

WGLD-380M

流量规格①(N2标定)

0~10,50,100,500 SCCM

0~15,20,25,30 SLM

调节阀类型

常闭式

量程比

(2~100)%F.S.[(1~99.9%F.S.)可选]

流量分辨率

0.1%F.S.

准确度

±1%F.S. (≤15SLM)

±2%F.S. (>15SLM)

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤2sec

≤1sec

工作压差范围

0.05~0.3MPa (<2slm)<>

0.1~0.3MPa  (2SLM-10SLM)0.15~0.3MPa (>10SLM)

<2MPa

至大耐压

2MPa

工作环境温度

5~45°℃

电缆接头

DB15pin(针形)

输入输出信号

0~+5.00V(输入阻抗大于100kΩ,输 出电流不大于3mA)

RS485 MODBUS

0~+5.00V(无输入信号,输出电流不 大于3mA)

RS485 MODBUS

供电电源要求

15VDC - 24VDC(300mA)

15VDC - 24VDC(300mA)

对外单点泄漏率

≤1×10-8Pa·m³/S(He)

介质接触材质

316,316L,密封填料

密封材料

氯丁橡胶CR,氟橡胶 FKM

管道接头尺寸


VCR 型接头:1/4"

双卡套型接头:1/4"、1/8"或φ6、φ3mm

内螺纹:9/16-18UNF内螺纹(深度<8mm)

净重量

1.0kg

0.8kg

注1;满量程流量不限于表中列出的流量规格,可以在20SLM~30SLM范围内任选,例如23SLM。





产品尺寸:

气体质量流量控制器WGLD-380(数字)


接线定义:

气体质量流量控制器WGLD-380(数字)





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