LAM796-055344-005

特点

• 流量范围：3 slpm （去离子水蒸汽）

• 具有超高流量精度的直接水蒸汽测量

• 能直接连接到厂房去离子水供应系统

• 在较低温度下可操作（非过热状态）

• 冲刷和排水的优化设计

• EtherCAT数字通讯

• Brooks Expert Support Tool (BEST)图形用户界面

优势

• 采用了成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术

• 适用于各种FAB去离子水供水的压力

• 接液件耐腐蚀性能增强

• 确保更清洁的操作

• 可匹配各种设备的模拟或数字通讯接口

• 直接用户界面可增强数据收集或故障排查

应用

• 硅材料半导体金属刻蚀后段工艺

• 硅材料半导体金属剥离工艺

• 在负大气压的环境中超高纯加湿

LAM797-800733-100半导体机台配件MFC649B-32597

深圳市天铉真空技术有限公司

SEC-Z11DWM [ 堀场 STEC ]

质量流量控制器 SEC-Z11DWM SHI4 50SCCM

SEC-N112MGM [ 堀场 STEC ]

质量流量控制器 SEC-N112MGM N2 300SCCM B-14W3 9P 3

SEC-Z719JX [ 堀场 STEC ]

质量流量控制器 SEC-Z719JX SICL4 100SCCM BLK-C 9P

SEC-N112MGM [ 堀场 STEC ]

控制器TRIAS EX2 MFC11 NH3 1SLM

GP-Z104-C [ 堀场 STEC ]

真空计 GP-Z104 0.1TORR

美国BROOKS布鲁克斯5850E气体流量计 美国MKSDLT4B-34749气化机器MFVC-33167流量校准计MFVC-29886

深圳市天铉真空技术有限公司

Coastal Instruments 成立于1980年，是国内专业的流量计服务商。致力于进口质量流量计、压力传感器等压力测量器件的校准、维修及销售服务。其技术*、高可靠性及诚信使其成为行业的，是专业的MFC技术服务商。

深圳市天铉真空技术有限公司 专门经营进口气体质量流量计销售，全套校准，一年质保期。

本公司专业销售质量流量计近40年，具有丰富的销售和售后服务经验，我们有专业的服务团队和专业工程师对产品进行跟踪服务。
具体产品参数，价格请询价

本公司主要经营的品牌有：

HORIBA

MKS

BROOKS

UNIT

AERA

MKS

MYKROLIS

MILLIPORE

SAM

STEC

BRONKHORST

美国BROOKS布鲁克斯5850E进口气体流量计

BROOKS 5850E  5851E  SLA5850S SLA5851S SLA5853S 5850S 5851S 5853S GF120CXXC GF125CXXC GF100CXXC

HORIBA IV-2410AV-03/3030-10059喷射阀

七星华创流量计D07-7B氩气100sccm***深圳市天铉真空技术有限公司

Fil-tech G8136P/1美国FIL-TECH 离子规真空规

Fil-tech品牌以下产品都可预订，欢迎咨询

3300002     G75PT;           7631-0001-0002   G75KT;

AMAT0190-51152喷射阀HORIBAIV-2401AV-02h

UE压力开关 E48W-H76 E48W-H77 PV48W-17 P36W-17/04-716704-01

美国FIL-TECH 对流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/101GG