OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
性能指标和基本配置 | ||
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炉体结构 | ● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃(参考值,详情请点击)
图1 图2 图3 图4 图5 图6 | |
基本参数 | ● 热偶:K型热偶 | |
高纯石英管尺寸 | 尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm) | |
加热元件 | 掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命) | |
加热区 | 每个加热炉加热区长度:200mm | |
密封法兰 | ● 一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内
图1 图2 图3 | |
温控系统 | ● 包含一款808P型温度控制器 | |
可选 | ● 可选购电动滑轨(图一)
图1 图2 图3 图4 | |
温度校准(可选) | ● 定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括: | |
滑轨 | ● 镀铬钢制成的双滑轨 | |
真空系统(可选) | ●用机械泵真空度达 50 mtorr | |
尺寸 | ● 炉体:340mm L x 330mm W x 400mm H | |
净重 | 80Kg | |
使用注意事项 | ● 炉管内气压不可高于0.02MPa | |
应用提示 | ·如何在MTI管炉上放置管堵和真空法兰。 | |
认证 | 所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。 | |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 | |
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