美国Harrick PDC-002 扩展型等离子清洗机

基本参数：

主要特征：
台式设计，结构紧凑精致
低、中、高三档可调节功率，可为30W
设备辐射小，安全环保

· 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）

· 重量：20.0kg

· 输入电源：220 V / 50Hz

· 输入功率：200 W



· 常用工作气体：
空气、氩气、氮气或混合气体等

· 功率档：
低档716V DC、10mA DC、7.16W
中档720V DC、15mA DC、10.15W
高档740V DC、40mA DC、29.6W

· 基本配置：
直径6英寸，长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
可拆卸舱盖。
含磁力锁和可视窗的铰链舱盖。
为30W的RF线圈。
1/8英寸NPT针阀
1/8英寸NPT三通阀

· 选配件：
石英等离子清洗舱
石英托盘（用于放置样品）
气体计量混合器Plasma FloTM

· 周边设备：
基本型专用真空泵（PDC-VPE-2）

可选件：

· 选件一：气体计量混合器PlasmaFloTM

功能及配置简介：
1、Harrick PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满足客户的不同需求的备件。主要应用于样品的表面改性。
2、在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
3、为向舱内注入两种气体提供了可能。
4、含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、温差电偶真空度表测量舱内压力
6、适用气体：空气、氮气、氩气或混合气体。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、订货号：PDC-FMG-2

· 选件二：真空泵
Harrick等离子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，压力为200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
极限压力(气镇关)：1.5 mTorr
极限压力(气镇开)：23 mTorr
电机功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs

尺寸: 9"H x 15"W x 5"D

· 选件三：石英等离子清洗舱及托盘