六维并联微动平台P-SLL采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学微动平台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。六维并联微动平台P-SLL采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
六维并联微动平台P-SLL规格参数分辨率<1nm
负载：1000g (10N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
垂直载荷Fv:10N水平力Fh:5N尺寸:> 250 x 80 x 67 mm3重量:≈ 300 ~2000 g行程范围：
x- 20 ~ 1200 mmy -45~119 mmz -≤ 16 mm
Θx：≤42 °
Θy：≤ 33°
Θz：≤42 °
带纳米传感器-S闭环最小增量（x，y，z）：1nm最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad重复精度(xyz全行程）：±200 nm重复精度(Θxyz全行程）：±10urad重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm材料和真空可选项目纳米级距离编码传感器非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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