日立高新发布全新肖特基场发射扫描电镜SU7000——高通量，更快获取各种样品信息

7月31日，日立*公司(以下简称“日立高新”)同步正式推出重磅电镜新品——肖特基场发射扫描电镜SU7000，它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现了高通量的观察与分析。

SU7000外观图

　　扫描电子显微镜(SEM)可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号，获得从微细结构到组成成分等各种信息，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大，对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。

近年，冷场技术几乎是高分辨观察SEM市场的主流，但近来SEM市场开始显现出一些微妙的变化，用户中有一些特定需求的声音逐渐浮出：“冷场SEM虽然分辨率高且稳定，但在超大束流分析时还有些不足”，所以在超大束流分析（如WDX）热场便成为一种新的需求。结合客户的心声，日立高新经过两年时间开发，推出了全新一代热场技术扫描电镜-SU7000。

　　此次推出的SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离(工作距离/以下简称WD)，以设置的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。

　　而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道)，进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。

　　它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。

　　据悉，日立高新将在8月5日(星期日)~8月9日(星期四)在美国马里兰州举办的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日(星期三 )~9月7日(星期五)在幕张展示中心(千叶县千叶市)举办的“JASIS 2018”上展示这款SU7000，预计每年销量有望达150台。

　　日立高新表示：“日立*科学系统事业部以2020年成为电子显微镜行业一为中期战略目标，今后仍将全力推动产品研发与市场推广，努力为制造业作出更大的贡献。作为*、前沿的事业创新型企业，今后以成为提供*和解决方案的企业为目标，始终站在客户的立场，快速满足客户和市场需求。”

　　【主要特点】

　　1.在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与EDX分析

　　2.最多可同时实现6通道检测与显示

　　3.在像素10240 x 7680时，也可获得图像数据

　　4.同级别*设备中最多的可配置18个附件接口

　　5.支持300Pa的低真空模式(选配)

　　*空间分辨率在1 nm/1 kV以下

　　【主要规格】