据报道，维也纳技术大学（TU Wien）的研究人员开发了一种轻型光学系统，用于对表面进行微米级精度的三维（3D）检测。该测量工具可以大大加强高科技产品的质量控制检查，包括半导体芯片、太阳能电池板和消费电子产品，如平板电视。这项研究发表在《应用光学》（Applied Optics ）杂志上。

研究人员将共焦传感器与一个高度集成的快速转向镜相结合，测量直径仅为32毫米。他们还开发了一种重建过程，利用测量数据创建样品表面形貌的3D图像。3D测量系统非常紧凑，可以安装在计量平台上，作为与机械臂的连接，并通过主动反馈控制补偿样品和测量系统之间的振动。

“这个系统最终会给高科技制造业带来各种好处，”Wertjanz说。“在线测量可以实现生产过程，这对小批量制造特别有用。这些信息还可以用于优化制造工艺和机床设置，从而提高整体产量。”

研究人员目前正致力于在计量平台上落地应用该系统，并将其与机械臂结合。这将使他们能够测试基于机器人的精密三维测量的可行性，在容易振动的环境中，如工业生产线上的自由曲面。

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