“芯”之纯净 - 记洁净室空气洁净度监测

那么，何为洁净室？洁净室又是如何分级的呢？

在内容与ISO 14644:1-2015相对应的国标《GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级》中对洁净室做了详细的描述：将空气悬浮粒子控制在适当的水平，以便完成对污染敏感的活动。航空航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对悬浮污染物的控制^[1]。根据粒子浓度的限值，标准中将洁净室洁净度划分为9个整数等级，每一个等级对不同粒径的粒子有*大允许浓度的要求（见表1）。

表1  洁净室及洁净区空气洁净度整数等级

在所有应用洁净技术的行业中，对洁净室等级要求*高且依赖性*大的非电子行业莫属。随着现代技术的发展，电子产品日益精密化和微型化，原来体积为几千立方厘米的电子装配件，现在已缩减到零点几立方厘米，光致抗蚀剂厚度仅0.2微米^[2]，**的集成电路线宽也已降到130纳米^[3]……种种这些都对空气洁净度提出了更高的要求，不能有微粒进入产品造成短路或产品缺陷等。这在下表中也可以看到：如在高质量、高技术的芯片制造领域，洁净室等级达到了*高的ISO等级 1和2，粒径控制*小需要0.1微米。因此，在芯片制造领域需要监测空气洁净度的计数器具有稳定的测试能力和准确的测试结果，做好洁净室空气洁净度的监测，保证洁净室的纯净，从而实现“芯制”纯净。

表2  各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求^[4]

MET ONE 3411作为电子行业的空气颗粒计数器：

空气颗粒计数器MET ONE 3411

• 拥有0.1μm的高灵敏度测试，在1 CFM流速下实现稳定、准确计数；

• 多达999个取样位点、5000个数据存储，以及和MET ONE 3432型多路采样系统连用的能力，可实现多路/多点采样操作，实现快速采样和分析；

• 完整符合ISO 21501-4中的严格要求，确保仪器间测试的准确性和重复性；

• 钝化不锈钢外壳，坚固耐用，直观的彩色触摸屏，操作简单；

• 智能热插拔锂电池低损耗、高稳定、长续航。

除3411外，MET ONE还有以下型号为您的实际需求提供快速的解决方案：