超纯水制备主要包括以下三个阶段，即初步吸附过滤阶段、反渗透净化阶段和树脂离子交换阶段。超纯水制备过程
在设备生产操作过程中需先检查整个设备有无异象，各连接管之间是否封闭，谨防滴漏，在检查完设备之后打开原水（自来水）阀，开启总电源开关，然后逐步开启原水泵，高压泵开启后停留在机器旁听查一小段时间看设备运行有无异常，需观察设备、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器、保安过滤器进、反参透设备出口水的压力， 每个过滤设备进出口水压差在一定范围内(<0.1MPa)，同时需要控制RO进水、中段、浓水的压力在要求范围内，控制RO产水流量、RO回流流量、RO浓水流量并使RO产水的电导率小于20uS/cm。
需装用超纯水时开启增压泵，打开 一 个出水阀，其中需控制好混床进出水压力及精密过滤器压力及混床出水的压力在要求范围内，出水的电阻率大于10MΩ·cm。在此过程中需注意观察纯水槽中的存水情况，严禁抽空！同时为防止存水过多导致水质变差，影响混床树脂寿命，村水箱中的水需控制在浮漂以下。
使用完毕后续关闭好总电源，关闭原水进水阀和超纯水出水阀，防止自来水和空气倒流回过滤设备内损坏设备。
超纯水制备原理
1、其中初步吸附过滤阶段包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器、保安过滤器。
①蜂房过滤器的主要作用是去除大于10um的凝聚胶体和悬浮颗粒；
②活性炭过滤器的主要作用是活性炭利用本身良好的吸附作用将水中的余下氯气和小分子有机物截留在滤芯，随滤芯带走；
③压缩活性炭的主要作用是利用比活性炭更强的吸附作用更深度的从原水中除去余下氯气和小分子有机物，达到反渗透水质要求；
④保安过滤器主要是从原水中去除大于5um的凝聚胶体和悬浮颗粒，进一步达到反渗透水质要求。
