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中国国家电子级超纯水规格(GB/T11446.1-1997)

2023年08月02日 13:10:44      来源:苏州邦泽净化设备有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:18

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中国国家电子级超纯水规格(GB/T11446.1-1997)

 指标/级别

 EW

 EW

EWⅢ 

EW-Ⅳ

电阻率 cm(25℃)

18以上,(95%时间)不低于17

15,(95%时间)不低于13

 12.0   

0.5  

全硅,值,μg/L

2

10

50

1000

1μm微粒数,值,个/mL

0.1

5

10

500

细菌个数,  /mL

0.01

0.1

10

100

铜,值,μg/L

0.2

1

2

500

锌,值,μg/L

0.2

1

5

500

镍,值,μg/L

0.1

1

2

500

钠,值,μg/L

0.5

2

5

1000

钾,值,μg/L

0.5

2

5

500

氯,值,μg/L

1

1

10

1000

硝酸根,值,μg/L

1

1

5

500

磷酸根,值,μg/L

1

1

5

500

硫酸根,值,μg/L

1

1

5

500

总有机酸,值,μg/L

20

100

200

1000


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