无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

  依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

 在JIS的标准下，无尘室的洁净度可以分成八个等级，而清洁度主要是指空气的洁净等级，八个等级是指，在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。本世纪，坐高的*的产业的发展加速了产业革命的变革，无尘室设立的必要性也是要提高的。，商品日渐小型化和精密化，尘埃和湿度温度的变化却对商品会造成很大的伤害，会导致商品的质量下降，由于商品的质量要求的提高，所以对无尘室的要求也日益变高。所以，无尘室中的防尘材料和商品都显得很重要。无尘室就是一个人造的环境，里面的粒子要远远低于一般的环境，随着集成电路的技术的增长，也增加了对制造无尘室的洁净度的需求，在工业上，就算小于0.1微米的尘埃也会影响到产品的生产和运作，也会降低产品的寿命，优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线