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气体质量流量监测 -高性价比产品

2023年09月03日 10:18:00      来源:江苏中能仪表科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:21

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气体质量流量监测 -高性价比产品
商品简介高性价比产品,★高精度,快响应型 ★橡胶密封,模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★国际兼容用途,多气体多量程,自动调零,量程5sccm-50slm ,橡胶密封,通讯方式;模拟0-5V,模拟0-10V,数字485,DeviceNet详细参数 技术性能指标精密地测量和控制气体流量 D07-19B型质量流量控制器
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制.标准:气体质量流量用氮气(N2)标定.标准状态规定为;

标准温度………………0℃(273.15K)

标准压强………………101325Pa

输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA

输入设定电压…………0~+5.00V

输出电压检测…………0~+5.00V

满量程流量范围(N2

5SCCM~30SLM

控制范围

2~100%F.S.

阀类型(及阀初始状态)

电磁调节阀(常闭)

准确度

≤10SLM

±1%F.S.

>10SLM

±2%F.S.

线性

≤10SLM

±0.5~1%F.S.

>10SLM

±2%F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤4sec

工作温度范围

5~45℃

工作压差

≤10SLM

0.1~0.5MPa

>10SLM

0.1~0.3MPa

耐压

3MPa

漏气率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡胶,聚四氟乙烯,氯丁橡胶

接头选择

VCR

1/4”或φ4hose,φ6hose

Swagelok

1/8”,1/4”或φ3,φ6mm

中能仪表电插头形式

DB15 pin(Male)

抗电磁干扰

CE

重量

0.95Kg

气体质量流量监测广泛用于电子工艺设备,分析测量仪器,冶金,制药,光纤熔炼,真空镀膜,石油化工,制气配气等行业.

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