(1)工厂环境

作为工厂环境内的防静电对策的根本应设置静电对策用接地线。

不得已的情况除外，应与设备用接地线分离，在工程内单独铺设防静电对策用的接地线。

另外，与铺设接地线对策并用，对加湿工程内的湿度管理还应进行对策管理。

如果湿度能控制在５０～６０％左右就能大幅有效防止静电的产生。

(2)作业环境

对作业台及作业椅子等工程内使用物品的基本对策是连接接地线，确保静电的释放路径。

换言之，在有带电可能性的场所使用表面阻率在１０４～１０９Ω／□之间的材料，并且

与防静电对策用接地线相连接。

另外，使用不锈钢钢板时，由于自身的阻率较低，电流突然通过接地线就会造成半导体

部品的破损和设备的漏电，所以从保护人身安全考虑应该在通路中加入１ＭΩ(１０６Ω)

的电阻。

（3）作业者

作业者防静电对策的基本是穿戴防静电作业服、静电手环和静电鞋。

通常情况下，人体和椅子及衣服摩擦、鞋与地面的摩擦等会产生数ｋＶ的带电。

防带电作业服可以抑制带电，并且静电可以通过静电手环和静电鞋接地，不对

半导体放电。

静电手环内置１ＭΩ(１０６Ω)的电阻，目的是为了发生漏电时保护作业人员

无触电危险。

其中*基本的要**工程上所有接触半导体和基板的作业人员都应严格遵守各项

规定。特别是向外来客人解说的人员和技术或生产技术担当者等，也就是说即使

是平常作业者以外的人员不会接触到基板也应严格遵守。

(1)工厂环境

作为工厂环境内的防静电对策的根本应设置静电对策用接地线。

不得已的情况除外，应与设备用接地线分离，在工程内单独铺设防静电对策用的接地线。

另外，与铺设接地线对策并用，对加湿工程内的湿度管理还应进行对策管理。

如果湿度能控制在５０～６０％左右就能大幅有效防止静电的产生。

(2)作业环境

对作业台及作业椅子等工程内使用物品的基本对策是连接接地线，确保静电的释放路径。

换言之，在有带电可能性的场所使用表面阻率在１０４～１０９Ω／□之间的材料，并且

与防静电对策用接地线相连接。

另外，使用不锈钢钢板时，由于自身的阻率较低，电流突然通过接地线就会造成半导体

部品的破损和设备的漏电，所以从保护人身安全考虑应该在通路中加入１ＭΩ(１０６Ω)

的电阻。

（3）作业者

作业者防静电对策的基本是穿戴防静电作业服、静电手环和静电鞋。

通常情况下，人体和椅子及衣服摩擦、鞋与地面的摩擦等会产生数ｋＶ的带电。

防带电作业服可以抑制带电，并且静电可以通过静电手环和静电鞋接地，不对

半导体放电。

静电手环内置１ＭΩ(１０６Ω)的电阻，目的是为了发生漏电时保护作业人员

无触电危险。

其中*基本的要**工程上所有接触半导体和基板的作业人员都应严格遵守各项

规定。特别是向外来客人解说的人员和技术或生产技术担当者等，也就是说即使

是平常作业者以外的人员不会接触到基板也应严格遵守。