化学隔膜泵系统是针对腐蚀性气体和蒸汽的一种持续的、无油抽气的解决方案，可以满足许多高真空要求。三级泵的结构同时具有大抽气速度和超高极限真空的优点，而且泵的尺寸非常小。所有与被抽介质接触的部件都是由抗化学腐蚀的氟材料构成。经广泛验证的PTFE“三明治”夹层结构的膜片稳定性更高，延长了操作寿命。将MD1C配合气镇使用，非常适合用于易冷凝性蒸汽（高沸点溶剂）。
化学隔膜泵系统性能特性：
化学耐腐蚀性和蒸汽耐受性
在较高真空度下仍具有非常好的性能
使用气镇仍能达到很好的极限真空
排气安静，振动极低
膜片寿命长，驱动系统免维护
化学隔膜泵系统常用功能组件有：
oAK–进气口或出气口的分离瓶。进气口（吸入端）分离瓶收集颗粒或液滴。出气口（压力端）分离瓶收集出气口冷凝液，防止冷凝液倒流回泵内，并使泵更安静。
oEK–出气口废气冷凝器及收集瓶，实现溶剂回收，保护环境和实验人员。
o机械真空表–可显示真空度的趋势变化和大致的真空级别
oCVC3000真空控制器–通过对电磁阀或真空泵转速的控制，实现的真空度控制。
o电磁阀–与CVC3000搭配，实现两点法真空控制。
o手动流量调节阀–便捷地调节有效体积流量，安装在真空系统的进气口分离瓶上。
