可溯源的纳米级磁场测量

目前，溯源到核磁共振（NMR）量子标准的宏观磁场测量能力以及连接工业的溯源链都已建立完善。但是，这些校准链仅涉及宏观体积上恒定且均匀的场的测量，或者表面小至毫米级的测量。欧洲重要的高科技产业，例如磁传感器制造、工业应用中的精﹡位置控制和传感、信息技术、生物医学以及研发实验室，都需要在定量分析和质量控制环节对微米或纳米级的磁场和磁通密度进行可溯源且可靠的测量。三种相关的测量技术都已建立，即，在微米量级上进行杂散磁场分布测量和成像的①扫描磁场显微镜和②磁光学指示膜（MOIF）显微镜，以及用于纳米级磁成像的③磁力显微镜（MFM），但目前尚无这三种技术的可溯源校准标准。

·概述

该项目的总体目标是开发并提供协调的、可持续的欧洲计量能力，将对空间分辨磁场的可靠且可溯源的测量范围扩展到微米和纳米量级。

·需求

目前，溯源到核磁共振（NMR）量子标准的宏观磁场测量能力以及连接工业的溯源链都已建立完善。但是，这些校准链仅涉及宏观体积上恒定且均匀的场的测量，或者表面小至毫米级的测量。欧洲重要的高科技产业，例如磁传感器制造、工业应用中的精﹡位置控制和传感、信息技术、生物医学以及研发实验室，都需要在定量分析和质量控制环节对微米或纳米级的磁场和磁通密度进行可溯源且可靠的测量。三种相关的测量技术都已建立，即，在微米量级上进行杂散磁场分布测量和成像的①扫描磁场显微镜和②磁光学指示膜（MOIF）显微镜，以及用于纳米级磁成像的③磁力显微镜（MFM），但目前尚无这三种技术的可溯源校准标准。

·目标

该项目的总体目标是开发、测试和验证微米和纳米级空间分辨磁场测量的计量工具和方法，这将首﹡实现可靠且可溯源的测量从厘米到微米和纳米量级的延展。

该项目的具体目标是：

1. 提供基于扫描磁场显微镜技术的计量工具和方法，适用于永磁体和空间分辨力范围从50 μm到500 nm磁编码器标尺的局部杂散场分布的可溯源测量；评估有关溯源性和不确定度的测量技术；建立局部杂散场测量结果到宏观SI标准的溯源，并评定其不确定度。

2. 提供基于磁光指示膜（MOIF）显微镜技术的计量工具和方法，适用于永磁体的局部杂散场分布和空间分辨力为50 μm至500 nm的磁性编码器标尺的可溯源测量；评估有关溯源和不确定度的测量技术；建立局部杂散场测量结果到宏观SI标准的溯源，并评定其不确定度。

3. 提供经过验证的校准技术，以确保空间分辨力低于50 nm的磁力显微镜（MFM）的SI溯源；开发、测试和验证不同的校准方法；建立对宏观SI标准的溯源并评定其不确定度。

4. 提供适用于可溯源现场校准的校准人造物品，以支持*终用户进行微米和纳米级可溯源磁场测量的可靠性。

5. 促进测量供应链采用新的高分辨力磁场计量技术，确保将测量结果传递到计量服务的用户，并为国际（IEC）纳米磁测量或纳米电子学标准化委员会的标准制定做出贡献。