高低温探针台T8-LY100能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-420K高低温测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

技术参数：

1、真空腔体约直径260mm，

2、带有4英寸高透射观察窗，材质熔融石英

3、样品载台直径：50mm 样品载台平整度<5微米

4、温度范围：80K-420K，控温仪精度：0.1-0.5K

5、X-Y-Z行程范围：±25mm*±25mm*0-12.5mm线性运动，位移精度：1um

6、预留光纤接入口做光响应测试

7、预留四个探针座的接口

8、探针长度38mm，直径0.5mm，针尖直径1um

9、两套CCD相机（能看清1-2um）

10、耦合一套四轴应变装置（定制）

11、三同轴射频接口：4只，外接三同轴连接线双向公头，长度 2米

13、真空抽口KF50

14、重量：75kg