2025年05月23日 14:54:43 来源:上海高致精密仪器有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:17
| 洁净度级别 | 悬浮粒子**允许数/立方米 | |||
| 静态 | 动态 | |||
| ≥0.5μm | ≥5.0μm | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
| 3520 | 20 | 3520 | 20 | |
| B级 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
| C级 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
| D级 | 3520000 | 29000 | 不作规定 | 不作规定 |