SECM扫描探针显微镜是一套多功能的SPM扫描探针显微镜系统，还可以集成SICM，SECCM等多功能。电化学/电生理扫描探针显微镜SECM具备扫描电化学显微镜及扫描离子电导显微镜成像（SECM/ SICM）与可定制模块化的光学显微镜成像同步联用的系统。
SECM扫描探针显微镜系统组件与功能介绍：
1、机械扫描四轴纳米定位系统(模块)：
1）X/Y/Z 三轴扫描探针定位系统：闭环电路控制的直流伺服XYZ马达台叠加Z-轴压电驱动系统，XYZ马达台具备扫描分辨率≤10nm，马达扫描轴大动态扫描范围不小于X=100mm, Y=75mm, Z=50mm；Z-轴配备的纳米分辨率压电驱动系统具备步进分辨率≤1.5纳米。扫描系统具备探针与样品共扫描模式，Z-轴可快速完成长距离下的全自动探针逼近过程。
2）系统具备X/Y/Z/F 四维亚微米便携式独立遥控杆，具有慢速和长距离/快速双模式。
3） XY扫描轴可扩展移动定位范围，具备手动调节旋钮可额外扩展 X/Y定位范围至不少于±12.5 mm。
2、系统无缝集成的微观光学显微镜成像系统（模块）：
1）核心光学组件倒置集成于XY样品台的正下方，光学成像对焦由电动马达自动聚焦驱动器（分辨率≤5.5nm，对焦移动范围≥5厘米），光学对焦位置可进行数字式调节和记录。
2）光学成像光路具备模块化显微镜光路设计，核心组件具备临界照明的落射荧光光学元件，光导耦合器，及用户可自由调节的滤光片立方体和用于连接像机的C型接口适配器。
3）倒置显微镜须配备6孔位物镜盘，系统配置的物镜须具有长工作距离的荧光级物镜，放大倍数至少为4x, 20x和40x。
4）被观测样品的光学照片及视频可由系统相机进行实时采集，激发控制模式支持预设、内部同步、曝光激发、连续曝光模式。
5）光学系统兼容升级接入无缝集成的LED荧光激发光源系统，荧光滤波片组及超高速荧光CCD相机。
