在陶瓷抛光机抛光时工件想要获得高精度的加工平面，其中最主要的因素是在抛光盘的平面精度。抛光盘的平面精度与其精度的保持性决定了平面抛光的精度。面积较小的工件在进行高精度抛光时，要使用弹性变形小且始终能保持平面度的抛光盘。一般的平面抛光盘上都会涂上一层弹性或者软金属材质、光学玻璃等来作为抛光盘，这样使其能获得记精度表面质量。如果在工件的材质本身是较软的，如：光学玻璃等，就可以采用软质或半软质的抛光盘来获得较高精度的平滑无损表面。其缺点是比较难保持工件的平面度，对工件的平面度产生影响。想要在使用软质的抛光盘的情况下，同时又能得到工件高精度的表面就必须注意以下几点：

1.不使用过长或者废弃已经磨损变形的抛光盘。
2.使用检验合格或者耐磨损性好的抛光盘。
3.修整磨损变形的抛光盘，采用人工修整或者利用标准平板与抛光盘对研修整，最后再采用高精度的陶瓷抛光机进行抛光。
4.同时要保持陶瓷抛光机在进行抛光时的室内清洁等；如：硬尘粒会造成污染抛光的材料。