氧化铝陶瓷片基片具有硬度高、脆性大、易产生裂纹，表面加工难度在，且加工后很难保证表面质量与完整性。为了让陶瓷研磨机/抛光机能加工出优质的加工表面，氧化铝陶瓷基片在进行加工前需要对基片进行清洗步骤如下：

1.将氧化铝陶瓷基片浸没入无水乙醇溶液中，放置十分钟后取出，采用棉签擦拭表面不洁净处。这样能去除基片表面原有的有机物等污染。

2.先用离子水冲洗被水乙醇溶液浸泡过的陶瓷基片表面，再把其放置在装有支离子水的容器中进行超声波清洗五分钟，最后用洁净空气把基片吹干。

3.采用前面的方法把陶瓷盘清洗吹干后，放置于加热器上进行加热使陶瓷盘表面能够达到有效熔化石蜡的温度。

4.先将石蜡均匀的涂抹于陶瓷盘表面，石蜡熔化期间将氧化铝陶瓷基片均匀地放置在陶瓷盘上。

5.使陶瓷基片完整稳定地贴在陶瓷盘上，再适合的单面或者双面研磨抛光加工方式。为了能对氧化铝陶瓷基片表面粗糙度，表面形态及厚度等原始数据进行有效的采集，应在加工前使用表面粗糙度仪等等设备每片陶瓷基片进行观测与测量，方便得出有效的加工数据。