低温冷却液循环泵的循环简介：

内循环：通过泵对槽内液体介质的循环吞吐，增加槽内温度的均匀性，减少温度波动。外循环：通过泵的循环能力，利用出水口，将保温软管与外部设备连接，形成封闭回路，流回设备进水口，是将槽内恒温介质外引，建立外部恒温场

低温冷却液循环泵应用范围：

对半导体制造装置发热部的冷却：单晶片洗净转载，印刷机，自动夹座安装装置，喷涂装置，离子镀装置，蚀刻装置，单晶片处理装置，切片机，包装机，显影剂的温度管理，露光装置，生磁部分的加热装置等。

对激光装置发热部分的冷却：激光加工，熔接机的发热部分，激光标志装置，发生装置，二氧化碳激光加工机等。

其他产业用机器发热部分的冷却：等离子熔接，自动包装机，模具冷却，洗净机械，镀金槽，精密研磨机，射出成型机，树脂成型机的成型部分等。

分析检测机器的发热部分的冷却：电子显微镜的光源，ICP发光分光分析装置的光源部分，分光光度计的发热部分，X线解析装置的热源，自动脉冲调幅器的发热部分原子吸光光度计的光源等。水箱可用优质的纯净水在机内外循环冷却，可保证对水质要求较高精密仪器的正常运行，延长精密仪器的使用寿命。