任何高精仪器都考研其性能，优异性能的ICP光谱仪做筛选检测时可以准确排查是否合格，将空白空间缩小;

　　有些ICP光谱仪对有些相似金属识别率较低或者误判，比如镉譜线与X光管铑的电极征譜线重叠。甚至不能准确测定镉;

　　　由于性能不足，可能发生错判、误判、无法判定等事件频发，不确定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本显著提高、风险增加。

大部分ICP光谱仪的检测稳定性受到X光管老化、环境温度、电源波动等影响，使数值不准，有的ICP光谱仪X射线漏泄严重，危及操作人员的安全。

ICP光谱仪的关键性能

　　一、X线束光斑直径

A.光斑直径大小在使用中会体现出一些差别。目前光斑直径从0.1mm到15mm不等。光斑小不受试样面积限制，光斑大受材料不均匀性影响小。

二、检测器

A.SDD：新型的SDD检测器属高纯硅检测器，稳定性好，检测灵敏度高。

B.SSD：老款的SSD检测器属硅锂检测器，漂移大，检测灵敏度低。

　　三、 X光管的电极材料

　　目前X线荧光ICP光谱仪基本上采用铑靶X光管，个别有钨靶X光管的。

四、检测方法和软件

  A.带补正的相对检量线法：可以自动补偿环境条件变化、供电变化、X管老化等对检测数据的影响。

B.FP法、部分检量线法：稳定性差。

C.光斑大小间接反映X光束的能效。大光斑（几mm到十几mm）通常采用准直器整理光束，被遮挡部分白白浪费掉;1mm以下小光斑采用导管整理光束，能量损失较少。

D.光斑大小根据实际测量需要选择，光束能量损失通常制造商在软件、滤光片等方面做适当补偿。