1. ICP-MS：大致分为离子源（电感偶和等离子体）和质量分析器（磁式速度、方向聚焦分析器；四极杆；飞行时间等）；
ICP-OES：为光源（电感偶和等离子体）、分光系统、检测系统；
ICP-OES灵敏度高低检测限，较宽的动态线性范围和多元素同时分析，用于痕量及部分常量元素定性定量分析，应用的行业范围也较广；ICP-MS具有元素、同位素、形态分析等定性定量分析能力，检测下限水平优于ICP-OES。
2. 应用领域比较接近，只是icp-ms的检出限要低很多。
3. ICP-OES由于其可以覆盖PPB级至百分含量范围，在一般的实验中运用较多。比如金属材料（不含超纯）、化工等各种行业。
ICP-MS其检出限非常低，但是对于总的离子量有限制，因此分析基体复杂体系的方法检测限不一定比ICP-OES低。主要在环保/水质/电子材料（尤其是半导体行业）等方面运用较多。
另外由于ICP-MS对于所使用的试剂的纯度、分析用水、实验环境等要求均较高，而且仪器使用也较ICP-OES复杂，因此对于绝大部分分析用ICP-OES就足够了。
4. 对于拥有ICP-AES技术背景的人来讲，ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体(ICP)，而质谱学家则认为ICP-MS是一个以ICP为源的质谱仪。事实上．ICP-AES和ICP—MS的进样部分及等离子体是极其相似的。ICP-AES测量的是光学光谱(165-800nm)．ICP-MS 测量的是离子质谱，提供在3-250amu范围内每一个原子质量单位(amu)的信息，因此，ICP-MS除了元素含量测定外，还可测量同位素。检出限ICP-MS的检出限给人极深刻的印象，其溶液的检出限大部份为ppt级(必需记牢，实际的检出限不可能优于你实验室的清洁条件)，石墨炉AAS的检出限为亚ppb级，ICP-AES大部份元素的检出限为1—10ppb，一些元素在洁净的试样中也可得到令人注目的亚ppb级的检出限。必须指出，ICP— MS的ppt级检出限是针对溶液中溶解物质很少的单纯溶液而言的，若涉及固体中浓度的检出限，由于ICP-MS的耐盐量较差，ICP-MS检出限的优点会变差多达50倍，一些普通的轻元素(如S、Ca、Fe、K、Se)在ICP-MS中有严重的干扰，也将恶化其检出限。
5. ICP-OES与ICP-MS在用途上的区别
ICP-MS：大致分为离子源（电感偶和等离子体）和质量分析器（磁式速度、方向聚焦分析器；四极杆；飞行时间等）；
ICP-OES：为光源（电感偶和等离子体）、分光系统、检测系统；

ICP-OES灵敏度高低检测限，较宽的动态线性范围和多元素同时分析，用于痕量及部分常量元素定性定量分析，应用的行业范围也较广；ICP-MS具有元素、同位素、形态分析等定性定量分析能力，检测下限水平优于ICP-OES。
ICP-OES由于其可以覆盖PPB级至百分含量范围，在一般的实验中运用较多。比如金属材料（不含超纯）、化工等各种行业。

ICP-MS其检出限非常低，但是对于总的离子量有限制，因此分析基体复杂体系的方法检测限不一定比ICP-OES低。主要在环保/水质/电子材料（尤其是半导体行业）等方面运用较多。

另外由于ICP-MS对于所使用的试剂的纯度、分析用水、实验环境等要求均较高，而且仪器使用也较ICP-OES复杂，因此对于绝大部分分析用ICP-OES就足够了。