入射狭缝的故障前面已经提到，下面针对电感耦合等离子体光谱仪入射光路的故障进行介绍。

　　(1)光路无静态氩气保护。光路是密封的非真空状态，必须用静态氩保护才能保证紫外线200nm以下元素的准确分析。有时光路的静态氩气气路被阻或掉下，造成光路无静态氩。另外调节静态氩的气阀出现故障也会出现这种现象。电感耦合等离子体光谱仪开机使用时，必须保证氩气打开20min以上才能做狭缝扫描和工作曲线校准。因为时间太短会造成光路静态氩还没有达到饱和而造成200nm以下的元素光强值逐步增加的现象。原来校准的工作曲线会造成碳、磷、硫等元素含量偏高。

　　(2)左、右样品架的人射窗口被污染，使分析结果严重偏低。石英窗必须经常进行清洗，常用5%的盐酸或酒精进行清洗。清洗之元素的光强值会明显增加。安装时应注意石英窗的密封，不使氩气泄漏。

　　(3)系统工作正常，高压供电正常，分析结果为“0”。这种故障出现在Hg灯反射针或右架反射镜的电感线圈位置不对时。左架曝光时，Hg反射镜没有退出光路，左架激发光不能进入人射光路被Hg反射镜挡住。在右架激发时，曝光阶段右架反射镜没有进入光路，使激发光不能反射到人射光路。解决办法：

　　1)重新安置反射镜动作的电感线圈驱动位置。

　　2)检查反射镜动作的控制信号。

　　3)检查右架反射镜是否掉下来了。

　　(4)同一样品左、右架激发的光强值不同。造成这种情况需要调整右架反射镜的反射偏转角。