在ICP光谱分析中，ICP光谱仪出现各种各样的故障问题是难免的，故障的产生将给测试工作带来许多的不利因素，如果操作者掌握一些仪器故障的简单排除方法，会给日常测试工作带来很大便利。

　　如果遇到复杂的仪器故障问题，操作者如果能准确而详尽地描述故障现象，也会给维修人员给予极大的帮助，使厂家维修人员可以不再现场的情况下对仪器的故障正确判断，有的故障可以通过电话指导帮助操纵人员排除;即使相对复杂的问题，厂家维修人员也能在现场时做好充足的准备工作，使故障问题可以尽快解决。

　　目前各个厂家各个型号的ICP光谱仪计算机系统都有它自己的诊断程序，在诊断程序的帮助下会给操作者提供正确的检查方法，方便操作者查找仪器的故障，所以在仪器出现故障时，操作者首先要确认仪器的计算机系统是否正常工作，根据计算机系统的提示寻找故障部位。

　　另外操作者还可以通过听、看和摸等方式来确定仪器故障。

　　ICP光谱仪的故障与其使用环境、仪器的性能、操作人员的业务能力及日常维护水平密切相关。其故障可分为性能故障和使用故障两大类。

　　性能故障时由于仪器本身设计或安装或某些元器件不符合要求而引起;使用故障时仪器的使用环境不符合仪器的要求，或是由于操作者未按照规定要求使用和维护仪器不当而引起的。同一个故障既可能有性能故障引起，也能由使用故障而引起，因此要根据仪器故障现象来一一识别。