1、局部排风
各种电子产品生产过程不可避免地将会有各类粉尘、有害气体、有害物质的排出，防止它们在洁净室内扩散、污染的有效方法是在相关设备处采取局部排风方式经处理达标后排至室外。对于如下情况的局排系统应独立设置。
（1）排风介质混合后能产生加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；
（2）排风介质中有毒与无毒，毒性相差很大；
（3）易燃、易爆与一般排风；
（4）洁净室的排风系统设计时，应采取下列技术措施。
为防止室外的气流倒灌流入室内，引起污染和积尘，常用防倒灌措施：设置中效过滤器；采用止回阀，使用方便但密封性较差；采用密闭阀、密封性好，但结构复杂；采用自控装置等。
（1）含有易燃、易爆局部排风系统应采用与排出物质相适应的防火、防爆措施；
（2）排风介质中有害浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时应进行无害化处理，达标后才能排入大气；
（3）对含有水蒸汽和凝结性物质的排风系统，应设坡度及排放口，以即时排除凝结液。
洁净厂房内的换鞋、存外衣、盥洗、厕所和沐浴等生产辅助房间，应采取通风措施，其室内的静压值，应低于洁净区。
洁净室应根据生产工艺要求设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。一般对于有可能散发有害气体或易燃易爆气体的洁净室（区）应设事故排风装置。
排风系统的设备、管道和附件的制作材料、保温材料、涂料，应根据排出的气体性质、状态等条件选用合适的材质，通常应符合下列要求。
（1）排风系统的风管应采用不燃材料。这里所指的不燃材料是各种类型的金属板材，包括碳钢、不锈钢、有色金属板材，具有选用应按排气的性质确定；
（2）排除腐蚀性气体的风管，应采用耐腐蚀的难烧材料。这里所指的难烧材料主要是氧指数等于大于32的玻璃钢等；
（3）附件、保温材料、消声材料和涂料等均采用不燃材料或难燃材料。这里所指的不燃材料主要是岩棉、等；难燃材料主要是氧指数大于等于32的橡塑海绵、聚氨脂等。
2、洁净室的防排烟设计
洁净厂房是密闭无窗或设固定窗的房间，设置防排烟系统是确保人员疏散的必要方法之一。在《洁净厂房设计规定》（GB50073-2001）第6.5.7条中规定：洁净厂房疏散走廊，应设置机械防排烟设施。现摘录《建筑设计防火规范》的修订稿草案中的有关规定，供参考。排烟量的确定，设置机械排烟设施的场所，其排烟风机的排烟量，当担负一个防烟区排烟时，应不小于60m3/h/m2计算排烟量；担负两个或两个以上防烟分区的排烟系统时，应按zui大的防烟分区的面积不小于120 m3/h/m2计算排烟量。单台排烟风机的zui小排烟量不应小于7200 m3/h。排烟风机的选型，排烟风机可采用离心机或排烟风机，风量应考虑10%—20%的漏风量，风压应满足排烟系统zui不利环路的要求。在风机入口总管上，设置当烟气温度超过280℃能自动关闭的防火阀，且应与排烟风机连锁。
排烟口的设置，排烟口或排烟阀应设置在顶棚内的墙面上，且与邻近安全出口相邻边缘之间的水平距离不应小于1.5m，距可燃物体的距离不应小于1.0m；排烟口或排烟阀平时应关闭，并应设手动或自动开启装置，排烟口与该防烟分区内zui远的水平距离不应超过300m。