1、供电系统应确保洁净厂房内的产品生产设备、公用动力设施的安全、可靠的运转，应防止因停电故障，造成生产中断，使生产线上的产品、中间产品变成废品、次品、废料，严重时生产设备损坏或打乱生产程序，使恢复生产困难;由于停电使洁净室内的洁净环境受到破坏，需要一定的时间才能恢复。为此应根据洁净室的产品生产特点和生产工艺的要求，准确的确定供电系统，选用必要的备用电源设备、稳压稳频设备、自动调压设备、不停电设备（UPS）等。合理确定配电系统及线路，尽可能简化系统，采用质量优良、性能可能的变配电设备。
2、洁净室应采用质量优良、安全可靠的电气设备。洁净室一般相对封闭，平面布置曲折，在建筑中使用了各种类型的装饰材料。一些电子产品的生产过程要使用各种类型的可燃或有毒气体，有机溶剂，这些均将使洁净室存在着潜在的可能灾害，所以洁净室内的电气设备不仅应具有质量优良、安全可靠的特性，而且还应设置必要的、完善的保护安全措施，如：可燃或有毒气体探测和可靠的排风设备电气连锁;火灾报警探测器等。
3、采用节能型电气设备。电子工厂洁净厂房一般是连续24h运转的电能消耗大户，以超大规模集成电路生产用洁净厂房的单位面积平均用电量为1.0—1.5Kw/㎡，而一般写字楼仅为0.1 Kw/㎡左右，所以选用节能型电气设备十分重要。这包括变配电设备、电动机的启动方式、以及光源的选择等。
4、注意电气设备及线路的适应性，随着科学技术的发展，电子产品的更新换代十分迅速，所以电子工厂的洁净厂房常常需要进行生产流程、设备的调整、改造，洁净度等级的提升等，因此洁净厂房的电气设备、线路均应留有一定的富裕量、灵活性，以适应产品生产调整、改造的要求。
5、重视采用方便管理、节约人力的电气设备的应用，特别是重视生产过程的加工自动化、公用动力系统的自动化、物料传输的自动化、办公自动化、各类管理数据收集和分析的自动化、各类防灾设施的自动化等。