过滤器的现场检漏
过滤器在运输及安装过程中会产生损坏，需要在安装后进行检漏，包括有的安装接缝处的密封检漏。通常采用扫描法，数量少的好办，数量很多时往往采用多个计数器及探头成排扫描，有时亦有采用安装前先检漏，安装时认真监督进行控制。
现场检漏的方法，采用扫描法，所用尘源，对要求不严的洁净室常直接用大气尘，但大气尘的情况不稳定的，扫描结果有时不易判断，因此常采用DOP及其替代物质，同前所述，一般采用多分散的为经济方便。
仪器采用光度计或合适的粒子计数器，后者的灵敏度可高到0.001%，而光度计仅为0.01%，这样后者可减少尘源DOP等的气溶胶量（后者所需浓度0.008mg/l而前者需要~10mg/l），因此对ULPA的检漏不宜采用光度计，尘源亦不宜采用大气尘。

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