1、洁净厂房的竣工工验收，是在各分部单机试车，无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收的内容是对各分部工程的单机试车和无生产负荷系统试车的核查，洁净室（区）性能参数检测和调试、各分部观感质量核查，建设方要求的检测和调试内容。
2、洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：
（1）图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图；
（2）各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告；
（3）各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录；
（4）各分部单机试运转记录；
（5）各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录；
（6）各类管线试验、检查记录；
（7）各分部工程的安全设施的检验和调试记录；
（8）各分部工程的质量验收记录。
3、洁净厂房内各分部工程的观感质量核查。
4、各分部工程的各类设备单机试车的核查，应符合本规范5～12章的相关规定。
5、各分部工程的各类系统的单机试车核查合格后，应进行无生产负荷的稳定运行核查。
6、洁净厂房竣工验收的主要测试内容，一般应包括如下测试：
（1）气流目测；
（2）风速和风量测试；
（3）空气过滤器的检漏；
（4）洁净室（区）的密闭性测试；
（5）房间之间的静压差测试；
（6）空气洁净度等级；
（7）产品生产工艺有要求者，应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试；
（8）自净时间；
（9）温度、相对湿度；
（10）照度值；
（11）噪声级；
（12）其他建设方需要进行的检测项目。
7、洁净厂房竣工验收后，应由施工方编写竣工验收报告，其主要内容上述外还有：
（1）观感核查记录；
（2）分项测试记录及分析意见（包括测试点位置、座标等）；
（3）测试仪器的有效校验证书；
（4）结论。