洁净车间空气净化系统的组成，包括空气除尘系统、空气消毒系统、气流组织系统等单元。空气净化工程主要设备由引风机、前置过滤器、主过滤器（静电除尘器）、臭氧杀菌层、活性炭过滤器、负离子发生器等几部分组成。此外，为保证空气中的湿度和温度，还可增设加热或冷却、恒湿等装置。
（1）引风机：一般采用多级离心式通风机，即能保证风量又能保证压力，同时噪音小。 使用静电除尘则可选用贯流式风机也可满足要求。
（2）前置过滤器：即初效过滤器和中效过滤器，目的是除去新风中大于5 的颗粒，保护其后的高性能过滤设备。
（3）主过滤器：除去小于1 的颗粒。在过滤器和静电式除尘器中任选一种即可。其中静电使用式除尘器的比例为90%。
（4）臭氧杀菌层：使用臭氧发生器产生臭氧从而对空气进行杀菌和灭菌。
（5）活性炭过滤器：经主过滤器后再通过活性炭柱过滤，可除去臭氧和酸性气体，能够净化气体中的粉尘、气溶胶和蒸汽。
（6）负离子发生器：阴离子发生器能让漂浮在空气中的微粒带上负电，使这些颗粒易被捕集或沉淀，从而使车间空气更清新。因此，绝大多数空气洁净系统都配置了负离子发生器，以提高空气质量。