1、按厂区布局→厂房建筑装修→生产设备逐次进行竣工验收。 
2、厂房建筑装修应按产品生产工艺要求进行验收。 
3、洁净厂房应按照国家行业标准 JGJ71－90《洁净室施工及验收规范》进行验收。首行工程竣工验收，再进行综合性能全面评定。两者都必须对洁净室进行性能检测。
工程竣工验收：即应对各部分工程做外观检查，单机试运转，系统联合试运转。并在空载或静态条件下对洁净室的 性能进行检测和调整，以及对有关施工检查记录进行审查。外观检查项目包括：各种管道、风道、净化空调设备的安装是否正确严密，、中效过滤器安装合理、密封，洁净室墙面、地面、天花板应光滑平整，门窗严密。单机试运转是指对空调器（制冷，加热系统）、局部净化设备及其它有试运转要求的设备分别进行试运转，审查是否符合有关技术规定。系统联合试运转是在单机试运转合格后，进行各项设备部件联动运转，审查是否符合技术要求。 
综合性能全面评定：综合性能全面检测的方法及评定标准应符合JGJ71－90《洁净室施工和验收规范》。检测包括以下方面：洁净度级别、送风量、排风量、截面风速、浮游菌和沉降菌、温度和湿度等。