1、FFU（风机过滤器单元）
风机过滤器单元FFU是近年普通应用在单向流和混合流中的重要净化设备。它是有标准模数尺寸（1200*600mm，600*600mm，1200*1200mm等）的风机和过滤器（过滤器、超过滤器）的组合体做为洁净室的终端设备，分散或集中地布置在洁净厂房的吊顶上。为了保证洁净厂房的室内参数，它经常与干冷盘管和新风机组组合使其性能参数是：
①断面平均风速为0.45m/s，而出风速度的均匀性应为平均风速的±20%。
②FFU的机外余压应≧100Pa，是140Pa以上。
③FFU的单体噪声应≦50dB(A)。因在单向流洁净厂房中往往成百台上千台的FFU集中设在吊顶上，如果单体噪声太高，则叠加噪声就不能被接受。
④断面风速可调。智能化调节，变频调节都是可行的。
2、干冷盘管
干冷盘管是新风机组加干冷盘管加FFU空调净化送风方案的洁净厂房控制温度的关键换热设备，设置在洁净厂房回风夹道的下部或上部。对其性能要求如下：
①为了避免在系统正常运行时干冷盘管产生结露现象，因此通过干冷盘管的进水水温要高于室内空气露点2℃。
②为了导走洁净厂房空调系统启动时产生的冷凝水，干冷盘管系统还要设置滴水盘和排水系统。
③干冷盘管的排数为双排，而且空气通过时阻力不能太大，因此盘管铝翅片的间距为3mm。
④为了减少空气通过盘管的阻力，通过盘管的风速应<2m/s。