10万级无尘车间空气净化系统的清洁和维保一般由设备工程部和操作人员全面负责，需要制订出清洁和维保计划以及实施方法，并按计划实施清洁和维保。
送风口、回风口应进行日常清洁
除例行的清洁与维保之外，根据空气监测结果或突发性异常情况的发生，必要时应进行临时性的清洁与维保。
空调机组及机组用管道无滴、冒、跑、漏现象。
空调机组内设备半个月检查一次传动三角带，每星期检查臭氧发生器，半年1次风机加耐高温润滑油。
空调机组每隔一年检修一次，每隔二年大修一次，并做好除锈处理及油漆。
其它设备、附件（静压箱、风阀、蒸汽管道、冷冻冷凝水管阀门及冷却除污器及有关的电器设备等）的维护保养。
静压箱
用光照检查是否有漏点。
静压箱定位，拉紧线材是否完好。
每2年油漆一次。
风阀
每年拉动风阀，调节手柄，使其达到开或关灵活，当调节风阀时，应慢慢打开或关小开启度。
每2年对风管灯检漏一次。
风管每处对其内部清洗，除污处理，具体步骤：拆除主风管，用酒精和饮用水清洗，小风管小弯处拆除，用洗涤剂和饮用水清洗，完毕后用干丝巾擦干，风管安装以后应检漏。
每年对风管定位材料检查有无移位，松动及除锈，油漆。
保温材料及层外包裹每年检查一次，有无破损、松散。
空调用蒸汽管道和冷水、冷却水管道、阀门。
管道及法兰口每年检查一次是否漏水。
阀门连接使用过程中应经常检查。