1、配电
（1）电源进线（不包括消防用电）应设置切断装置，并宜设在洁净区外便于管理的地点。
（2）洁净室内的配电设备，应选择不易积尘、便于擦拭的小型暗装设备，不易设置大型落地安装的配电设备。配电盘、柜里面不得有灰尘，盘、柜门应能关闭严密。
（3）洁净室内电气管线宜暗敷，穿线导管应采用不燃材料。洁净区的电线管管口及安装于墙上的各种电器设备与墙体接缝处应有可靠的密封措施。
（4）暗装插座、暗装插座箱和开关的接线盒内必须清扫干净，紧贴墙面，安装端正。
（5）洁净室内的接线盒或拉线盒，其盒内不得有灰尘，盒盖必须连接严密。 
（6） 电线管进入接线盒或配电盘、柜，穿线后必须密封严实。
2、照明
（1）洁净室内照明光源，宜采用荧光灯。若工艺有特殊要求或照度值达不到设计要求时，也可采用其它形式光源。
（2）洁净室内照明一般为吸顶安装，如灯具嵌入顶棚暗装时，其安装缝隙应有可靠的密封措施。洁净室内不应采用格栅灯具。
（3）灯具安装前必须擦拭干净。嵌入吊顶内的暗装灯具，其灯罩的框架与吊顶接缝必须进行密封处理。明装的吸顶日光灯具，其灯架应紧贴吊顶。
3、其他
洁净室内安装的火灾探测器，空调温、湿度敏感元件及其他电气装置，在净化空调系统试运转前，必须清扫至无灰尘。对于生物洁净室，还应采取防水防腐蚀措施。