表示单向流洁净室性能好坏的特性指标主要有三项：流线平行度、乱流度和下限风速。
（1）流线平行度
流线平行的作用是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。如果这种传播范围在允许范围内，那么流线略有倾斜也是允许的。
美国对于单向流洁净室高度规定为不小于2.7m，规定的工作区高度比较高。有些操作区可能会在比工作区高的地方，一般这些区域不会超过人的高度，大约在1.8m。如果一个工作人员站着进行操作，应避免距离地面1.8m处散发的尘粒降落到离地面0.75m高时，超过该工作人员的工作范围，进入到相邻工作人员的工作范围，对相邻区域环境造成影响。例如，一个工作人员在桌面上的操作范围为1m，如果人站立操作，距离桌面1.05m处散发的尘粒在降落到桌面时，仍未超出自己的工作范围，就不会对相邻区域的工作人员造成污染。因此，如果流线是斜直线，那么流线与水平面的倾斜角应大于arctan1.05/0.5=65º，这个流线倾斜角同样也适用于水平单向流洁净室。
如果流线是渐变流的曲线，那么其和工作区下限平面的交点以及和下限平面之上1.05m处的平面的交点之间的连线，与水平方向的倾角应大于65º。
美国有关100级(5级)单向流洁净室的验收规定中，对于气流流线的平行度的规定是：从顶棚以下92cm到地面以上76cm的区域，风速的水平分量不应使尘粒侧向散布距离超过60cm。因为美国对单向流洁净室高的规定是不小于2.7m，换算成流线倾斜角则约为61º。流线平行度角度要求每根流线的倾角不仅要大于65º，而且相邻两根流线的夹角也要尽可能小。总之，单向流洁净室要求流线之间既要平行，在0.5m距离内线间夹角大不能超过25°，又要求流线尽可能垂直于送风面，其倾斜角不能小于65º，或者简单用流线偏离垂直线的角度表示，GB 50591- 2010《洁净室施工及验收规范》规定该角不应大于15º。
（2）乱流度(速度不均匀度)
速度场均匀对于单向流洁净室是极其重要的，不均匀的速度场会增加速度的脉动性，促进流线间质点的掺混。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度，用于不同速度场的比较。
（3）下限风速
下限风速是指保证洁净室能控制以下四种污染气流的小风速：
1）当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围；不仅要控制上升高度，还要控制横向扩散距离。
2）当污染气流与送风气流同向时，送风气流要能有效地控制污染气流到达下游的扩散范围。
3）当污染气流与送风气流逆向时，送风气流应能将污染气流抑制在必要的距离之内。
4）在全室被污染的情况下，要能以合适的时间迅速使室内空气自净。
下限风速是洁净室应经常保持的低风速，过滤器阻力升高风速将下降，因此确定初始风速时要考虑这个因素或使风量、风速可以调节。ISO 14644-1标准对单向流洁净室建议的平均风速是：ISO 5级（100级）0.2～0.5m/s；高于ISO 5级（100级）0.3～0.5m/s。