洁净室竣工验收工作完成后，一般应由具有相关资质或相关、具有洁净室检测经验、拥有完备的计量检定合格的仪器、仪表的第三方来主持洁净室的检测工作。建设方、设计、施工、监理单位应在现场配合，以完成对洁净室的综合性能评价。
洁净室综合性能评价具有两方面的功能：
（1）由第三方主持验证新建或改建的洁净室是否达到设计要求，能否正常运行并满足所规定的污染控制标准，其结论较竣工验收报告更具有公正性。
（2）所测定的洁净室的初始性能，将作为该洁净室性能的“基准”。将来不论是例行检测还是出现问题时进行的测试，均可得到与初始测试结果的偏差。由此便于找出洁净室性能不达标或出现其它问题的原因。
1、ISO-14644所规定的检测项目

2、NEBB所规定的检测项目
美国国家环境平衡局NEBB关于洁净室性能测试所规定的测试项目如下：
（1）气流速度和均匀性测试。
（2）高效空气过滤器装置的检漏测试。
（3）房间尘粒数测试。
（4）隔断压差。
（5）温、湿度均匀性测试。
（6）噪声及振动测试。
（7）照度及均匀性测试。
（8）自净测试。
（9）电导率测试。
（10）粒子沉积测试。
（11）静电测试。
3、国内相关标准所规定的测试项目
国家标准GB 50073-2001《洁净室厂房设计规范》及行业标准JGJ71-90《洁净室施工及验收规范》所规定的洁净室测试项目如下表：