温湿度测试的目的是将洁净室或洁净空间的温度和湿度水平记入文件。
温湿度测试有两种水平。一种是温湿度均匀度普通测试，适合于正常的环境要求。一种是温湿度均匀度综合测试，适合于控制要求更严的区域。普通测试用来证实洁净室的HVAC系统将使温度和湿度保持在基本舒适性所需的规定水平。综合测试用来证实洁净室的HVAC系统将使温湿度保持在舒适性和温湿度控制两者所需的规定水平。
1、普通温湿度均匀度的测试
（1）测试步骤—温度
1）进行测试前，要先验证HVAC系统的测试、调节和平衡工作已完成。
2）测试前在自动控制状态下让HVAC系统运转24h。
3）每个温控区至少要在一个位置上测量温度。把每个温度计或传感器放在的工作高度和位置上。传感器要有充分时间稳定下来，使读数准确。
4）记录下各温控工作区各位置上的时间和温度读数。
（2）测试步骤—湿度
1）进行测试前，要先验证HVAC系统的测试、调节和平衡工作已完成。
2）测试前在自动控制状态下让HVAC系统运转24h。
3）每个湿（温）控区要至少测量一个位置上的相对湿度。把每个湿度计或传感器放在的工作高度和位置上。使传感器稳定下来。
4）在测量温度的同时测量并记录湿度读数。
2、综合温湿度均匀度的测试               
（1）在每个温控区至少1个温度和相对湿度的测量点。
（2）可按规定在每个区内设置多个点。
（3）所存在的热源应按相对于测试采样的位置予以注明。
（4）在进行测试前，验证HVAC系统测试、调节和均衡工作已完成。
（5）验证气流均匀度检测已经完成且合格。
（6）测试前HVAC系统在正常自控条件下运行24h。
（7）在每个工作高度采样位置放置一个温度和湿度传感器，并使其稳定。
（8）在每个位置以至少6min的时间间隔进行至少2h的温湿度同时测量并记录结果。一般对每个区测量22h以确保其在时间上的均匀性。