一、地板电阻检测步骤：
检测目的：测定洁净室地板的接地电阻值。
检测仪器设备：3M型701 5磅带导电橡胶电极检测仪
检测条件：静态
平均值：0.1～10MΩ（ ISO 4级洁净室与更衣室）
检测步骤：
1、预检查测试点在整个洁净室范围内随机选择。
2、在检测过程中测试电压为100V并持续15s。
3、接地电阻的测量方法为将电极组件置于所选择的地板。电阻计的另一头接到合适的接地点。
4、将电极放置在所选地板的中心位置，读值并记录2次。
5、洁净室的平均接地电阻由记录的数据计算得出。
二、气流平行度检测步骤
检测目的：验证洁净室气流平行度（仅针对ISO 4级单向流洁净室）
检测装置：单丝飘带、测量卷尺、指针、支架。
检测条件：静态
大角度偏差：≤14°
大允许距离：≤31cm
检测步骤：
1、将单丝飘带悬挂在过滤器表面，其位置分布大致反映房间气流场。
2、使用测量卷尺或直尺，量度并记录距地面1m处的垂直偏差。