此方案多用于不同温、湿度和洁净度要求的洁净室，各室内的温湿度负荷不同，对送风状态点的要求也不同。为了保证各个洁净室的温度、湿度和洁净度，满足不同的基数和精度要求，就要求将循环空调机组分开设置，根据不同的要求分别处理各自的热湿负荷。同时因为洁净度不同、送风量不同，FFU的数量也不同。循环空调机组的风量是根据室内热湿负荷经计算确定的，一般循环空调机组和新风空调机组都设置在空调机房内，新风空调机组可将室外空气处理到室内热湿比线的机器露点，和室内回风混合后再由循环空调机组处理到送风状态点，这样循环空调机组只要做降温处理，不需要再做降湿处理。若新风空调机组将空气处理到室内状态点的等焓线上，再与室内回风（部分）混合，再由循环空调机组将混合点的空气状态点经降焓降湿处理到送风状态点，然后送入回风静压箱内经风机过滤单元送入洁净室内，这样循环风机的风量略大。这两种处理方式应根据具体情况来定。送风状态点的确定和前几种空气处理方案相同。