五、传感器技术的发展

传感器技术所涉及的知识非常广泛，渗透到各个学科领域，但是它们的共性是利用物理 定律和物质的物理、化学和生物特件，将非电量转换成电量。所以，如何采用新技术、新工艺、新材料以及探索新理论达到高质量的转换，是总的发展途径。

当前，传感器技术的主要发展动向：一是开展基础研究，发现新现象.开发传感器的新材料和新工艺；二是实现传感器的集成化与智能化。

(―>发现新现象

利用物理现象、化学反应和生物效应是各种传感器工作的基本原理，所以发现新现象与 新效应是发展传感器技术的重要工作，是研究新型传感器的很要堪础，其意义极为深远。例 如，日本夏普公司利用超导技术研制成功尚温超好磁传感器，是传感器技术的重大突破，其 灵敏度比霍尔传感器高，仅次于超导量子干涉器件。其制造工艺远比超导量子干涉器件简 单，它可用于磁成像技术，具有广泛推广价值。

(二）开发新材料

传感器材料是传感器技术的重要基础，由于材料科学的进步，人们在制造时，可任总控 制它们的成分，从而设计制造出用于各种传感器的功能材料，例如，半导体氧化物可以制造 各种气体传感器，而陶瓷传感器工作温度远高于半导体，光导纤维的应用是传感器材料的进 大突破，用它研制的传感器与传统的相比有突出的特点。有机材料作为传感器材料的研究， 引起国内外学者的极大兴趣。

(三）采用微细加工技术

半导体技术中的加工方法，如氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺、各向异性腐浊 以及蒸镀、溅射薄膜工艺都可用于传感器制造，因而对制造出各式各样的新型传感器。例 如，利用半导体技术制造出压阻式传感器，利用薄膜工艺制造出快逨响应的气敏、湿敏传感器o